5 工藝設計

5．1 一般規定

5．1．1 潔凈廠房的工藝設計、工藝布局應為電子產品發展以及產品生產工藝改造和擴大生產預留必要的條件。

5．1．2 潔凈廠房工藝設計應確定各種生產條件，在滿足電子產品生產要求的前提下，應做到安全性能好、建設投資少、能量消耗少、運行費用低、生產效率高。

5．1．3 潔凈廠房工藝設計應根據產品生產工藝和空氣潔凈度等級要求設置人流路線、物料運輸和倉儲設施。

5．2 工藝布局

5．2．1 潔凈廠房的工藝布置應按產品生產工藝流程、潔凈室的氣流流型、工藝設備的安裝和維修、物料運輸等要求確定。
在單向流潔凈室內進行生產工藝設備、操作程序、人員流動路線和物料傳輸布置時，應采取避免發生氣流干擾和交叉污染的措施。

5．2．2 工藝布局應避免人流和物流之間的混雜和交叉，宜分別設置人員入口、物料入口和設備出入口，并應在各自的入口處設置相應的凈化設施。

5．2．3 在滿足生產工藝和微振控制、噪聲控制等要求的前提下，空氣潔凈度嚴格的潔凈室(區)宜靠近空調機房布置；空氣潔凈度等級相同的工序或工作室宜集中布置。

5．2．4 潔凈室(區)內要求空氣潔凈度嚴格的工序(設備)應遠離出入口和可能干擾氣流的場所設置，并宜布置在上風側；易產生污染的工藝設備應布置在靠近回風口位置或下風側。

5．2．5 工藝布置時，應根據大型生產工藝設備的運輸、安裝、維修的要求設置運輸通道、安裝口或檢修口。

5．2．6 潔凈廠房內不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區)之間聯系頻繁時，應采取防止污染的措施。

5．3 人員凈化

5．3．1 人員凈化用室和設施應根據潔凈室的規模、空氣潔凈度等級設置，并應設置生活用室。人員凈化用室宜按圖5．3．1的人員凈化程序進行布置。

5．3．2 人員凈化用室，應根據換鞋(凈鞋)、更外衣、更潔凈工作服等的需要設置。雨具存放、廁所、盥洗室、淋浴室、休息室等生活用房和空氣吹淋室、氣閘室、潔凈工作服洗滌間及干燥間等其他用室，可根據需要設置。

5．3．3 潔凈廠房內人員凈化用室和生活用室的建筑面積，應根據潔凈室的規模、空氣潔凈度等級和潔凈室內工作人員數量等確定，宜按潔凈室(區)內設計人數平均2～4m2／人計算。

5．3．4 人員凈化用室和生活用房的設置，應符合下列規定：
1 凈鞋設施應設在潔凈室入口處；
2 更換外衣和更換潔凈工作服用室不應設置在同一房間內；
3 外衣存放柜應按潔凈室(區)內設計人數配置；
4 應設置存放潔凈工作服，且帶有空氣凈化的存衣設施；
5 應設置感應式洗手和烘干設施；
6 廁所宜設在進入人員凈化用室之前，需設在人員凈化用室內時，應設置前室。

5．3．5 潔凈廠房空氣吹淋室的設計，應符合下列要求：
1 在潔凈室(區)的入口處宜設空氣吹淋室。當不設空氣吹淋室時，應設氣閘室；
2 吹淋室應設在更換潔凈工作服后的相鄰部位；
3 單人空氣吹淋室，應按最大班人數每30人設一臺。潔凈室(區)工作人員超過5人時，空氣吹淋室一側應設單向旁通門；
4 空氣吹淋室的進、出門不得同時開啟，應采取連鎖控制措施；
5 空氣潔凈度等級為5級或嚴于5級的垂直單向流潔凈室(區)，宜設氣閘室。

5．3．6 人員凈化用室和生活用室的空氣潔凈度等級，宜由外至內逐步潔凈，室內可送入經過高效空氣過濾的潔凈空氣。
潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級宜低于相鄰潔凈室(區)的空氣潔凈度等級；當設有潔凈工作服洗滌室時，洗滌室的空氣潔凈度等級宜為8級。

5．4 物料凈化

5．4．1 潔凈室(區)內的設備和物料出入口，應獨立設置，并應根據設備和物料的特征、性質、形狀等設置凈化用室及相應物凈設施。

5．4．2 物料凈化用室與潔凈室(區)之間應設置氣閘室或傳遞窗。

5．5 設備及工器具

5．5．1 潔凈室(區)內應采用具有防塵、防污染的生產設備和輔助生產設備，并應符合下列要求：
1 表面應光潔、易清潔、不積塵、不揮發化學物質；
2 設備的傳動部件等應密封性能好，并應防止潤滑油、冷卻劑等的泄漏；
3 對生產中發塵、排熱量大或排出有毒、可燃氣體的設備，應采取防擴散措施；
4 設備的金屬外殼應設置接地設施。

5．5．2 當設備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區)時，宜采取密封隔斷措施。

5．5．3 潔凈室(區)內的設備宜選用低噪聲產品。當所選設備超過潔凈室噪聲容許值時，應采取隔聲措施。

5．5．4 潔凈室(區)應設置對電子產品生產過程所使用的工器具進行凈化處理的設施。

5．5．5 潔凈室(區)內，電子產品生產過程中各種零、部件存放和傳送，宜采用專用容器。用于存放和傳送的專用容器，應符合下列規定：
1 制作材料應光潔、不吸濕、不銹蝕、不散發污染物、防靜電，并在空氣中不應被氧化；
2 應密封性能好；
3 當存放物有嚴格的潔凈度要求時，宜充填高純度或干燥氮氣；
4 構造、外形應滿足生產工藝要求，并應方便操作和運送。

5．5．6 潔凈室(區)內設置真空泵時，應符合下列規定：
1 使用油潤滑的真空泵應設置除油裝置，除油后尾氣應排入排氣系統；
2 對傳輸含有可燃氣體的真空泵，可燃氣體濃度超過爆炸下限的20％時，應設尾氣處理裝置，在排入排氣系統前應去除或稀釋可燃氣體組分；
3 傳輸易燃、自燃化學品或高濃度氧氣的真空泵，應采用不燃泵油，并應配置氮氣吹掃。氮氣吹掃控制閥應與生產工藝設備操作系統聯鎖。